Атомний силовий мікроскоп винайшли в 1986 році Герхард[[Герд Бінніг]], Калвін[[Келвін КуейтКвейт]] і [[Крістоф Гербер]] майже одразу ж після винаходу [[скануючий тунельний мікроскоп|скануючого тунельного мікроскопа]]. Ідея була закладена ГерхардомГердом Біннігом і Хайнріхом[[Генріх Рорер|Генріхом Рорером]] (Нобелівська премія з фізики, 1986 рік). За допомогою атомно-силового мікроскопа можна одержувати зображення як фізичних, так і біологічних і хімічних об'єктів (вірусів і бактерій, атомів і молекул). Роздільна здатність таких мікроскопів сягає частки нанометрів, що дозволяє спостерігати атоми! Можливості цього приладу не обмежуються отриманням зображень. За допомогою атомно-силового мікроскопа можна вивчати взаємодію двох об'єктів: вимірювати сили тертя, пружності, адгезії, а також переміщати окремі атоми, осаджувати і видаляти їх з будь-якої поверхні.
До 1989 року вже з'явилися атомні силові мікроскопи серійного виробництва. У наш час атомні силові мікроскопи стали стандартним методом отримання зображень поверхні. Щуп мікроскопа можна також використати для того, щоб контрольовано пересувати невеликі наноскопічні об'єкти в потрібне місце на поверхі.
