Електрохімічне травлення: відмінності між версіями

| pages = 210-

| year = 1991}}</ref>. На відміну від хімічного травлення, поверхні утворюються з високим ступенем чистоти, процесом травлення можна керувати, а при певних умовах в результаті електрохімічного травлення можна отримати поруваті структури.

== Процес травлення ==

Для процесу травлення необхідно, щоб який-небудь продукт електрохімічної реакції виходив із системи, наприклад [[Катіон|катіони]] металів осідають на катоді (тіло, що травиться підключено до аноду), чи з комірки вивільняється газ (у випадку травлення кремнію). Для травлення металу тіло підключається як [[анод]], а інертний для даної системи електрод - як катод. Через електрохімічну комірку пропускають струм, що викликає корозію на аноді (для [[Метали|металів]]).

Контролювати швидкість травлення дозволяє концентрація електроліту та густина струму через поверхню катода: збільшення обох параметрів призводить до збільшення швидкості травлення. <br />

Варто пам'ятати, що під час проходження струму через електроліт (зазвичай опір електроліту високий) виділяється [[Закон Джоуля — Ленца|Джоулеве тепло]], тому використовувати великі густини струму потрібно вкрай обережно. Якщо струм у системі буде недостатній, то можливий випадок, коли травлення йде не суцільним фронтом, а починається із нерівностей мікрорельєфа поверхні тіла і заглиблюється далі. Такий режим дає можливість травити поруваті структури, наприклад [[Поруватий кремній|поруватий кремній]].

== Застосування ==

* Травлення металів та їх сплавів