Поруватий кремній

Поруватий кремній — наноматеріал, виготовлений з моно або полікристалічного кремнію шляхом електрохімічного травлення.

Найважливішою характеристикою пористого кремнію, яка визначає більшість його фізичних параметрів, є ступінь пористості або пористість (П).

Вона визначається формулою:

П = ${\rho _{Si}-\rho _{por}} \over \rho _{Si}$

де ρ_Si і ρ_por-Si — щільності монокристалічного та пористого кремнію відповідно.

В даний час (2005 рік) значення пористості можуть варіюватися від 5 до 95 %.

Ступінь пористості зразка визначається зазвичай гравіметричним методом (зважуванням). Визначення пористості цим методом проводиться в три етапи:

1. Зважування монокристалічної кремнієвої пластини;
2. Витравлювання на ній пористого шару і зважування отриманого зразка;
3. Видалення пористого шару шляхом стравлювання його з кремнієвої підкладки та повторне зважування зразка.

Похибка гравіметричного методу при малих товщинах (до 10 мкм) пористого шару і великих пористостях (більше 70 %) може досягати 15-20 %. Більше того, використання такого контролю ступеня пористості призводить до руйнування зразка, так як пористий шар в процесі вимірювань з нього віддаляється.

Посилання

• Feng Z.C., Tsu R., ред. (1994). Porous Silicon. Singapore: World Scientific. ISBN 981-02-1634-3.
• Kovalev D., Timoshenko V. Y., Künzner N., Gross E., Koch F. (August 2001). Strong explosive interaction of hydrogenated porous silicon with oxygen at cryogenic temperatures. Phys. Rev. Lett. 87 (6): 068301. Bibcode:2001PhRvL..87f8301K. doi:10.1103/PhysRevLett.87.068301. PMID 11497868.