Джерела плазми
Джере́ла пла́зми — пристрої, призначені для створення плазми. Створення плазми вимагає щонайменше часткової йонізації нейтральних атомів та/або молекул середовища. У техніці, як правило, для створення плазми використовують ті чи інші види газового розряду.
Джерела плазми високого (від 1000 Па до атмосферного і, рідко, вище) тиску називають плазмотронами або плазмовими пальниками. У них, як правило, плазма утворюється в спеціальній розрядній камері, крізь яку продувається плазмотвірний газ. Найчастіше використовують дуговий або індукційний розряд. Для невеликих потужностей (до декількох кВт) поширені також НВЧ плазмотрони.
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/8/89/RF_plasma_source.jpg/220px-RF_plasma_source.jpg)
Джерела плазми для низьких тисків не мають загальної назви і класифікуються за принципом дії:
- Дугові:
- з холодним катодом;
- з розжареним катодом;
- двоступеневий;
- На основі пучково-плазмового розряду, зокрема, з порожнистий катод;
- Індуктивно-зв'язані:
- з котушкою у формі соленоїда;
- з плоскою котушкою;
- на основі геліконового розряду
- Ємнісно-зв'язані[en]
- На основі надвисокочастотного розряду, зокрема з використанням:
- На основі розряду в схрещених полях:
- джерела Голла;
- джерела з анодним шаром.
Джерела плазми мають безліч застосувань, зокрема як джерела світла і для плазмового оброблення матеріалів.
Див. також
ред.Література
ред.- Popov O.A. High Density Plasma Sources: Design, Physics and Performance. — Mill Road, Park Ridge, New Jersey, USA : Noyes Publications, 1995.
- Габович М. Д. Плазменные источники ионов. — К. : Наукова думка, 1964. — 224 с.
- Жуков М.Ф. Электродуговые нагреватели газа (плазмотроны). — М. : Наука, 1973. — 232 с.
- Барченко В.Т. Технологические вакуумно-дуговые источники плазмы. — СПб. : Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2013. — 242 с. — ISBN 978-5-7629-1366-9.
- Аксенов И. И. Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование. — К. : Наукова думка, 2012. — 727 с.
- Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. — М. : Высш. шк, 1988. — 255 с. — ISBN 5-06-001480-0.
- Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно - и электронно-лучевой технологии. — М. : Машиностроение, 1989. — 56 с. — ISBN 5-217-00726-5.