Слово ''паровоз'' походить з російської мови. Винахід {{lang-ru|паровоз}} приписується [[Греч Микола Іванович|М. І. Гречу]], який в середині [[XIX століття]]а видавав газету «[[Северная пчела]]». Доти паровоз називали ''самокатная паровая машина'' (або просто «машина»), ''паровая фура'', ''паровая телега'', ''пароходка'' (у [[Черепанови]]х і [[Жуковський, Василь Андрійович|В. А. Жуковського]]), і навіть ''пароход'' (у сучасній російській мові останнє слово вживається в значенні «пароплав»).
У [[1836 рік в історії залізничного транспорту|1836 році]] у зв'язку з майбутнім відкриттям [[ЦарскосельскаяЦарськосільська залізниця|ЦарськосельськійЦарськосельської залізниці]] у «Северной пчеле» № 223 від [[30 вересня]] з'явилося таке повідомлення: ''«Немедленно по прибытии паровых машин, которые для отличия от водяных пароходов можно было бы назвать паровозами, последуют опыты употребления их…»<ref>{{книга|автор=В. В. Одинцов.|заголовок=Лингвистические парадоксы|місце={{М.}}|видавництво=Просвещение|рік=1982|сторінки=31—32}} {{ref-ru}}</ref>''
У перших звітах будівельника [[Царськосільська залізниця|Царськосільської залізниці]] [[Франц Антон фон Герстнер|Ф. А. Герстнера]] трапляється: «парова машина», «паровий екіпаж», «[[парова карета]]». З [[1837 рік в історії залізничного транспорту|1837 року]] Герстнер вже вживає слово «паровоз». У звітах Царськосільської залізниці слово «паровоз» вперше з'являється [[8 лютого]] того ж року<ref name="Раков-Введение">{{книга|автор= Раков В. А.|частина = Введение|заголовок = Локомотивы отечественных железных дорог, 1845—1955|рік = 1995|сторінки = 7—10}} {{ref-ru}}</ref>.
У [[Словарь української мови|Словарі української мови]] Б. Д. Грінченка, укладеному на початку XX ст. слово ''паровоз'' відсутнє, а для позначення парового локомотива наведене ''локомотива/льокомотива'' (пор. {{lang-pl|lokomotywa}})<ref>{{Грінченко|Локомотива|26772-lokomotyva.html#show_point}}</ref>.